衍射极限计算器 - 光探智能

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工具说明

衍射极限是光学系统分辨率的理论上限。本工具基于瑞利判据、艾里斑和斯特列尔比等经典理论，计算系统在不同波长和口径下的极限分辨能力，适用于激光聚焦、成像系统和光刻等场景。

输入参数

波长 λ (nm)

入瞳直径 D (mm)

焦距 f (mm)

像方介质折射率 n

计算结果

艾里斑直径（像方）

—

瑞利分辨角

—

瑞利线分辨距离

—

f-number (f/#)

—

数值孔径 NA

—

焦深 (DOF, ±)

—

第一暗环角半径

—

斯特列尔比（Strehl）容忍波前误差

—

艾里斑示意

中央亮斑（83.8% 能量）

第一亮环（7.2% 能量）

暗环（零强度）

核心公式

艾里斑角半径

θ = 1.22 × λ / D

瑞利判据（线距离）

δ = 1.22 × λ × f / D

焦深（半值）

DOF = ±2λ × (f/#)²

Maréchal 波前误差

σ ≤ λ / 14（Strehl ≥ 0.8）

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